昭和电工开始量产并销售功率半导体用6英寸SiC外延晶圆
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昭和电工日前宣布确立了6英寸SiC外延晶圆的量产化技术。该公司从2013年年初就开始提供该晶圆的样品,此次确立了量产化技术,从10月份开始设定产品性能参数、正式展开销售。
据介绍,6英寸产品适于降低元件成本,也适合量产载流量达到100A的SiC元件,通过此次的产品,预计SiC元件将被大量用于纯电动汽车和混合动力车。而且,昭和电工此次还宣布,在4英寸产品中开发出了缺陷率更低、均匀性更高的新级别产品。该4英寸产品也将从2013年10月开始销售。
今后,昭和电工将进一步提高产品质量、增强产能。2014年上半年将把目前按4英寸产品换算为1500块的月产能提高至2500块,从而推动SiC功率半导体的普及。