波士顿半导体收购日本半导体厂设备

波士顿半导体设配公司 (Boston Semi Equipment, LLC)宣布整入全套 200mm CMOS 制造晶圆厂设备。此套晶圆厂设备内含超过 500 项目前还在日本用于生产线中的设备。此套设备目前用于 0.25 微米制程，实际上具有 0.18 微米的生产力。设备的重新营销也即将开始。

担任 Boston Semi Equipment CEO 的 Bryan Banish 说道：“这是 Boston Semi Equipment 的一次重要收购，不仅更确认并扩大我们在前段二手市场的地位，更展现了我们与此次采购案的资金伙伴 Showa Leasing Co., Ltd. 间绝佳的合作关系。我们与 Showa Leasing 合作专门在日本半导体市场开展设备租赁和工具成套收购等商业活动。”

此套晶圆厂设备购入包含 Nikon 光刻机 (stepper) 和步进扫描机 (scanner)、TEL 公司的Tracks系统、蚀刻机、扩散炉以及湿式蚀刻机、Applied Materials的PVD、CVD 和蚀刻机、Varian 和 SEN 的离子植入机、Novellus的CVD，还有来自 KLA、Hitachi 以及其他品牌的机台。

Boston Semi Equipment 销售执行副总裁 Colin Scholefield 评论说：“我们收购的设备目前使用于 CMOS 制程，当 2013 年1月开始拆除时便可使用。我们正在通过 BSE 集团世界各地的分销渠道积极进行工具的重新营销，并已经敲定了若干买家。”

BSE集团目前在马萨诸塞州伯灵顿市、亚利桑那州坦佩市、菲律宾、日本、台湾和新加坡都有业务，为前端和后端半导体制程提供相关产品和服务。