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[导读]屏东出现6.1级地震,台南市最高震度达到五级,南科则达四级,半导体与面板产业震程都因为震度超出设计的防护震度、自动当机,奇美电厂区26日疏散员工。在南科设厂的台积电、联电、奇美电表示,目前正清查制程延误及在

屏东出现6.1级地震,台南市最高震度达到五级,南科则达四级,半导体与面板产业震程都因为震度超出设计的防护震度、自动当机,奇美电厂区26日疏散员工。在南科设厂的台积电联电、奇美电表示,目前正清查制程延误及在制品损失,尚无法判断受影响的程度。

南科地震震度已达到机台设备所设定的自动保护装置的震度,厂区内的半导体面板厂商机台都出现自动断电,厂商在检查相关设备、机台的状况后,陆续恢复生产,估计将影响一定程度的产量。

面板厂商而言,厂务人员指出,昨天的震度不致造成灾损,敏感机台如曝光机、溅镀机等真空设备,若因地震自动启动保护装置关机,重新开机只需花约二小时,即可投入生产。但若地震时造成真空备设内有破片、或是机台的零组件损坏需更换,则要依序完成:降温、处理、升温等作业,至少要花上一天的时间,会有制程延误的损失。

奇美电财务长陈彦松指出,地震引发奇美电南科厂部份机台启动保护装置关机,必需重新启动,并未造成太大影响。

至于半导体晶圆厂,厂务人员表示,地震若达三级、四级以上,半导体制程设备机台就会自动启动保护装置关机。

台积电在南科有二座晶圆厂,台积电处长孙又文表示,地震发生时,南科厂依规定做人员疏散约一小时,返回生产线清查无尘室均未受损。至于生产线上是否有在制晶圆受损尚待进一步评估。

联电在南科也有12寸厂,联电财务长刘启东指出,地震没有造成重大影响,但部份敏感机台自动关机,需要重新启动,无法评论损失。

竹科管理局副局长兼发言人杜启祥及南科管理局长陈俊伟表示,没有接获任何园区事故通报,竹科及南科的水电供应无损,园区正常运作。

至于高雄部分,除了高捷短暂停驶之外,高屏地区各工业区未传灾情。

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