爱普生影像设备全面停用液晶面板制造中的光刻胶剥离液
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精工爱普生集团下属的爱普生影像设备(Epson Imaging Device)宣布,2007年7月已在日本国内的所有事业所全面停用列入PRTR(污染物排放与转移登记制度)的化学物质“乙醇胺(2-Aminoethanol)”。乙醇胺是液晶面板制造前期工序之一——光刻工序中使用的光刻胶剥离液的主要成分。这样的全面停用在液晶业界尚属首次。
该公司目前使用的化学物质约有200种,其中可能对人体健康和生态有害的,被《PRTR法》归为第一类化学物质及年使用量达100kg以上的有9种。乙醇胺就是其中之一,2005年度使用量最多,达到210t。因此该公司03年度起开始推进全面停用活动,目标是“2007年度内实现日本国内事业所全面停用”,“2008年度内实现海外制造法人及苏州爱普生(SZE)全面停用”。
乙醇胺的全面停用是通过兼顾质量和成本,同时采用该公司自主的剥离液而实现的。这样,替代剥离液的物质的使用量减至原来一半以下,成本也降低了一半。此次停用的是日本国内的所有事业所,其余的SZE计划08年度内实现全面停用。