AKT重新涉足TFT液晶溅镀装置业务

TFT液晶面板用CVD装置的第一大厂商业凯（AKT）就重新涉足的TFT液晶用溅镀装置业务，该公司总裁姜仁斗（I.D. Kang）公布了“力争2010年份额达到50％”的目标。目前在TFT液晶用溅镀装置领域，爱发科拥有90％以上的份额，几乎独占整个市场。

为了重新涉足TFT溅镀装置业务，业凯开发了可支持2200mm×2500mm玻璃底板的溅镀装置。该公司将可降低液晶面板成本的优势作为获取份额的撒手锏。与竞争对手的CVD装置相比，靶材料的使用效率高达3倍，可将溅射工序的运行成本削减20～30％。

此次业凯开发的上述溅镀装置目前正在通过液晶面板厂商的量产线进行单台评测。对于量产装置的供货日期，该公司表示“在08年下半年评测结果出来时，便可正式开始销售”。