TRADIM开发出连续滚动条式制造用TFT薄膜底板

日本新一代移动显示材料技术研究协会（TRADIM）开发出在薄膜底板上连续形成TFT数组的技术。可用于采用连续滚动条式制造技术的液晶面板制造。

此次，TRADIM在长10m、宽300mm的薄膜底板上形成了相当于3.5吋的TFT数组。薄膜底板的厚度约为250μm。即使把薄膜底板缠绕在直径为300mm的辊轴上，TFT数组也不会折断或龟裂。薄膜底板的Tg（玻璃化转变温度）为250℃以上，线膨胀系数为14ppm/℃。即便使用连续滚动条式制造技术，在进行与彩色滤光片底板粘合时的热处理（配向膜的烧成和密封硬化的热处理）时，“也可保持尺寸稳定性”（该公司）。薄膜的透过率为90％左右。另外，对于薄膜的材料类型和开发厂商的名称，该公司表示“不便公布”。

在薄膜底板上形成TFT数组的工艺为：首先，在玻璃底板上形成TFT数组。用抗化学制剂的薄膜封装TFT数组的表面后，用药液蚀刻玻璃底板背面，将厚度减至几十μm，实现薄型化。之后，使用光学同向性粘合剂将薄型TFT数组底板连续黏贴到薄膜底板上，由此形成TFT数组。

该协会此前已开发出在薄膜底板上形成彩色滤光片和背照灯光学系统的技术。

（助编：xiaohu）