MEMS快门显示器的光导出效率将提高到80％

以基于MEMS技术的快门制造彩色显示器的风险企业美国Pixtronix宣布，计划今后将光导出效率提高到80％以上。该公司参展了“FPD International 2008”。

该公司的技术是以MEMS快门对背照灯发出的光进行开关操作，以显示彩色视频。能够在与非晶硅TFT液晶面板生产线基本相同的工厂量产。由于其结构为背照灯上面不重叠彩色滤光片和偏光版等光学薄膜，因此亮度和对比度比液晶面板出色。并且耗电量也比液晶面板低。

该公司目前的试制品的开口率为12％，对背照灯发出的光能导出60％。与开口率相比，之所以能够提高导出效率，是因为在快门和背照灯之间的空间内壁上形成了反射膜。在非开口部分反射的光再反射，最终大部分从开口部分射出。反射膜目前由Cr形成，其反射率为95％。

该公司今后将把光导出效率提高到80％以上。将改进快门结构、将开口率提高15％等加以实现。目前已经完成开发，并且已对80％的效率进行了验证。

该公司计划于2010年初开始量产。届时将利用液晶面板工厂。MEMS快门的制造需要追加工艺。但因只需3片掩膜，该部分的制造成本可控制在只上升8％左右。快门制造将采用以光刻胶为牺牲层的表面微加工技术，而需要追加的制造装置只有用来去除光刻胶的等离子灰化装置。

(编辑:xiaoyao)