第10代玻璃底板制造设备及部材争相亮相

“FPD International 2008”上，支持第10代玻璃底板的液晶制造装置及部件及部材的展示纷纷亮相。继AKT发布支持第10代底板的等离子CVD装置和EB（电子束）测试仪之后，各公司又在FPD International展示会上接连展出了许多支持第10代底板的装置。

表示支持第10代底板的装置厂商包括，东电电子、大日本网屏、东丽工程，东京应化工业、日立高科及Nakan等。另外，曝光装置用光掩模方面，Clean Surface Technology、Ohara Quartz及日矿金属等也宣布支持第10代底板。

在展示中明确说明支持第10代底板的装置包括，东电电子的涂布显像装置和干式蚀刻装置，大日本屏幕的湿式蚀刻处理装置和涂布、显像装置，东丽工程的狭缝式喷嘴涂布机（Slit-nozzle Coater）、字幕机及全面膜厚测定装置，东京应化工业的浮式涂布机（Floating Coating），日立高科的湿式处理装置、彩色滤光器用曝光装置和玻璃底板检查装置，以及Nakan的配向膜印刷装置。

曝光装置用相关材料包括，Ohara Quartz的光掩模用石英材料、Clean Surface Technology的光刻掩模板以及日矿金属的溅射靶材等。

目前，已决定导入第10代生产线的液晶面板厂商只有1家。因此，表示支持第10代底板的装置厂商的解说员介绍时仍以玻璃底板尺寸为中心，避免涉及装置性能相关的具体内容。

除上述装置厂商以外，未明确表示支持第10代生产线但表示“将支持新一代大型底板”的是芝浦机电和爱发科。

(编辑:xiaoyao)