东大生产研开发出基于卷对卷印刷技术的MEMS显示器

东京大学生产技术研究所开发出了基于卷对卷印刷技术的MEMS显示器。这是一款将印刷形成微细图形的塑料薄膜粘贴为一体的透射型柔性显示器。通过采用卷对卷方式生产，使每平米的生产成本可控制在数百日元左右。

　该显示器除了可以弯折之外，还可通过静电来控制颜色，并可轻松改写显示内容。因此，将可作为广告板粘贴在大型柱子上、电车、大楼的窗户等处，还可作为无需更换即可改写广告内容的广告媒体使用。

　此次开发的显示器在厚0.2mm左右的塑料底板上形成了光学反射膜（厚12nm的铝）和光学干涉膜（厚210～370nm的SiO2膜）。通过使隔着气隙隔片（厚0.6μm）内的空气层与带光学反射膜的上部薄膜（厚16μｍ）粘贴为一体，从而实现了透射型彩色薄膜的功能。将光反射时使用的金属反射膜作为静电驱动用电极，如果对其施加电压，顶部的薄膜就会在挤压出空气间隙内的空气的同时，向下部电极方向弯曲。此时，根据法布里-珀罗干涉原理，决定光波长的上下金属反射膜的间隔会发生变化，因此透射光的颜色就会发生变化。此次，为使未施加驱动电压时的透射光为灰色、而驱动时可以看见干涉膜的颜色（红、绿、蓝），因此对基于SiO2膜的光学干涉膜厚度重新进行了设计。

　一般的液晶显示器由约10层左右的图案形成膜构成，与其相比，此次开发的显示器仅用6层即可构成，因此可利用较简单的方法生产。另外，还可生产最大为印刷机可印刷宽度（送纸设备宽度）的大型显示器。

　今后，为了控制发色位置，该公司还将利用印刷技术制作寻址电路。另外，还期望将此次的可使在2张薄膜间形成的空气层厚度发生变化的技术应用于更多领域，例如，利用其可通过静电改变光波长的特点，应用于防紫外线的电子遮光器等。

本研究为产业技术研究助成业务国际领域的重点研究项目，由东京大学生产技术研究所和芬兰国立技术研究中心（VTT）共同进行。（zengcong）