半导体制造装置顶级厂商应用材料在触摸面板领域发起攻势

全球最大的半导体制造装置厂商，并拥有液晶面板CVD装置领域最大份额的美国应用材料（Applied Materials，AMAT），向触摸面板用制造装置领域发起了攻势。该公司在4月15日面向新闻媒体举行的产品说明会上，介绍了两款其倾力制造的触摸面板用成膜装置等，表现出其对触摸面板市场增长的期待以及扩大装置业务的热情。

该公司显示器及玻璃产品部门（Display and Glass Products Group）副总裁兼总经理Jim Scholhamer表示，“触摸面板市场在飞速发展，将成为FPD制造装置市场增长的关键推动力”。该公司迄今为止已供货了5000万美元的触摸面板用成膜装置，而预计2～3年后市场规模将达到每年2亿美元以上。

作为触摸面板用ITO（Indium Tin Ooxide）成膜装置，应用材料一直在销售（1）适用于玻璃底板的纵向在线式溅射装置“New Aristo”，和（2）支持薄膜底板的卷对卷式溅射装置“SmartWeb”。

（1）的玻璃底板溅射，多被用作了液晶面板部材——彩色滤光片用ITO成膜装置。该公司AKT显示器部门（Display Group）的溅射产品（Sputter Products）负责人Uwe Muhlfeld表示：“以彩色滤光片用途为中心，本公司已经向全球提供了162台装置，其中的一部分用于触摸面板”。不仅是ITO膜，触摸面板需要的SiO2膜和金属膜也可连续成膜。适用的玻璃底板尺寸，触摸面板的第四代（底板尺寸为730mm×920mm）是最大的，但瞄准今后不仅是手机，笔记本电脑也将使用触摸面板这一趋势，将在2011年中期使其适用于第六代玻璃底板（底板尺寸为1500mm×1850mm）。

（2）的薄膜底板溅射，是预料到触摸面板底板的薄膜化、触摸面板的进一步大型化及低成本化而开发的装置。还可用于制造太阳能电池和采用薄膜底板的可弯曲显示器。迄今供货了30台左右。美国应用材料称，其在卷对卷技术方面，以食品包装薄膜的制造为代表，拥有历经50年积累的悠久历史。虽然在电子技术领域的成果还不多，但该公司能源及环境解决方案（Energy＆Environmental Solutions）部门的Web Coating Products负责人John D. Busch充满信心地表示：“此后有望实现大幅增长”。此次的溅射装置，每台可最多安装12个阴极（Cathode）。薄膜底板的宽度最大可支持1400mm。（记者：田中 直树）