东京威力科创将在江苏建面板制造设备新厂

全球第2大半导体设备厂商东京威力科创(TokyoElectron)20日发布新闻稿宣布，为了因应中国大陆对液晶面板制造设备的需求日益高涨，该公司决议于江苏省兴建乙座面板制造设备新工厂。东京威力科创表示，已于昆山经济技术开发区内取得面积达35.2万平方公尺的土地，之后并将于2011年1月设立全资子公司“东电光电半导体设备(昆山)有限公司”、同年3月将动工兴建新工厂、新工厂并预计于同年9月竣工量产。

东京威力科创表示，该座新工厂启用初期主要将生产使用于面板制造设备的消耗性零件，并计划在启用的2-3年后开始生产液晶面板制造设备。据日经新闻报导指出，该座工厂的投资额将达约50亿日圆。

在大陆政府的主导下，各家面板厂商纷纷计划于大陆兴建被称为“8.5代”的大尺寸液晶面板产线，也带动面板制造设备需求日益高涨。除东京威力科创之外，日经也曾于13日报导指出，日本液晶/半导体生产设备大厂ULVAC计划于未来5年内投下30亿日圆于现行苏州工厂厂区内兴建乙座面积达约3,000平方公尺的新厂房，首度于大陆生产可支持“第8代”大尺寸液晶面板的制造设备。

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