友达光电用氧化物TFT开发出37英寸全高清液晶面板
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台湾友达光电(AU OptronicsAUO)用基于透明非晶氧化物半导体(TAOS)的TFT(TAOS-TFT)试制出了全高清(1920×1080像素)37英寸液晶面板。TAOS-TFT液晶面板开发事例此前最大尺寸止步于20英寸以下,此次一举实现了大尺寸化。AUO预定在2010年5月于美国举办的“Society for Information Display 2010(SID 2010)”上展出试制品。
试制面板使用的TAOS-TFT,是将源电极和漏电极设在沟道侧面的同一平面(coplanar)型,沟道材料为非晶IGZO(In-Ga-Zn-O)。AUO在演讲中出示的TAOS-TFT试制结果显示,以栅极宽度和长度分别为22μm和5μm的元件,实现了载流子迁移率10~13cm2/Vs,开/关比108以上的良好特性。即便是经常碰到的TAOS-TFT元件特性不稳定问题,也通过在IGZO成膜后实施N2O等离子处理以及改善钝化方法等使其得到了控制。