旭硝子进军TFT液晶面板光罩用石英基板市场

时间：2011-01-15 22:50:00

关键字： TFT 基板石英液晶面板

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[导读]旭硝子日前宣布，将正式进军生产TFT液晶LCD时使用的大型光罩用石英基板市场。该公司表示已开发出纯度可达99.9999999％，成本却较传统产品低廉1～2成的生产技术。今后将针对需求可望逐渐扩大的第7代与第8代生产

旭硝子日前宣布，将正式进军生产TFT液晶LCD时使用的大型光罩用石英基板市场。该公司表示
已开发出纯度可达99.9999999％，成本却较传统产品低廉1～2成的生产技术。今后将针对需求
可望逐渐扩大的第7代与第8代生产线用途积极推展销售业务，希望能于2014年达成市占率20％
、营收30亿日圆的目标。

该公司表示，生产业务将由位于日本福岛县的子公司AGC Electronics负责，预定于2011年正
式投产。由于可改良现有生产设备，因此无须追加设备投资。为了提升石英的生成速度，缩减
生产周期，旭硝子采用低温制程、不纯物质较难混入的「间接方式」，并透过技术改良，使产
品可支援至第10代生产线以上。而竞争厂商则多半采用高温的「直接方式」。

光罩主要用于图案转换（patterning）制程，将电路图案转印制电晶体上。由于电路图案十分
精密，因此需要没有损伤、气泡或歪斜的高品质、高纯度基板。