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[导读]台湾友达光电(AUO)于美国时间2010年5月28日在显示器国际会议“SID2010”上,进行了驱动元件采用氧化物半导体TFT的32英寸液晶面板技术发布,并在开发者见面会(AuthorInterview)上进行了公开演示。尽管当天是本届会

台湾友达光电(AUO)于美国时间2010年5月28日在显示器国际会议“SID2010”上,进行了驱动元件采用氧化物半导体TFT的32英寸液晶面板技术发布,并在开发者见面会(AuthorInterview)上进行了公开演示。尽管当天是本届会议的最后一天,但仍有很多技术人员为了一睹达到“电视尺寸”——32英寸面板的风采而来到会场。前一天索尼现场演示可绕式有机EL时,也吸引了很多技术人员,但友达光电现场演示的火爆场面超过了索尼,可以说是本届SID上“人气最高”的展品。

从演示时展示的32英寸面板来看,显示蓝天影像等时可看到若干的斑点(如果是照片就很难看出),但并看不出线缺陷等一眼就可以看到的缺点。在开发者见面会现场,日本某厂商的技术人员表示,“虽说拿出来展示的都是最好的样品,但能达到这种水平的确非常了不起”。

采用第6代生产线试制

该产品是友达光电在该公司第6代(玻璃底板尺寸为1850mm×1500mm)液晶面板生产线上试制的。利用的氧化物半导体TFT与索尼当天发布的11.7英寸有机EL面板相同,沟道材料均采用非晶IGZO(In-Ga-Zn-O)。TFT构造系源电极和漏电极设在沟道侧面的同一平面(Coplanar)型。TFT阵列形成后,通过在250℃下进行1小时的热处理,提高了工艺的再现性。

非晶IGZO TFT的特性方面,47.4μm及5.5μm元件的载流子迁移率为5.16cm2/Vs,阈值电压为0.5V。亚阈值摆幅(S值)为0.38V/decade,导通截止比为108。(记者:佐伯 真也)


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