氧化物半导体TFT驱动的中小型液晶面板，夏普2011年内量产

图1：开发的概要（点击放大）

图2：载流子迁移率的比较（点击放大）

图3：采用IGZO TFT可提高开口率（点击放大）

图4：10英寸试制品的耗电量降至2/3 （点击放大）
夏普2011年4月21日宣布，将开发驱动元件采用氧化物半导体TFT的液晶面板，并于2011年内在该公司的龟山第二工厂开始量产。量产采用氧化物半导体TFT驱动的液晶面板为“全球首例”（夏普显示器元件事业本部副本部长迫周司）。将用于需求有望扩大的智能手机和平板终端等配备10英寸以下中小型面板的产品。

将量产IGZO TFT

驱动元件使用的氧化物半导体TFT为非晶IGZO（In-Ga-Zn-O）。非晶IGZO迄今已有韩国三星电子和索尼等日本、韩国及台湾的厂商作为大型有机EL面板和“4K×2K”（4000×2000像素）的液晶面板驱动元件进行了开发。夏普也在2009年举行的显示器相关学会“IDW”上发布了2.6英寸的开发品（参阅本站报道1）。

夏普计划开始量产的IGZO TFT是与日本半导体能源研究所共同开发的产品。载流子迁移率“比原来的非晶硅TFT高出20～50倍左右”（迫）。IGZO TFT与非晶硅TFT相比能够缩小晶体管尺寸，所以不但可提高液晶面板像素的开口率，还容易实现高精细化。夏普开发的1366×768像素（FWXGA）的10英寸液晶面板耗电量降至原产品的约2/3。不过，“超过300ppi的高精细面板，计划采用载流子迁移率比IGZO TFT还要高的、由夏普自主开发的低温多晶硅TFT技术‘CG硅’进行量产”（迫）。

龟山第二工厂此前一直量产用于电视等的大型液晶面板。夏普的迫周司自信地表示，为量产IGZO TFT驱动的中小型面板，“只需改动部分制造设备即可。通过采用第8代玻璃基板（2160mm×2460mm）量产中小型面板，可提高成本竞争力”。不过夏普没有公布具体的TFT结构及制造工艺的流程等。今后，龟山第二工厂将量产非晶硅TFT驱动的大型面板和IGZO TFT驱动的中小型面板，不过“具体产量涉及经营战略，因此不便回答”（迫）。

未介绍龟山第一工厂今后的情况

随着智能手机和平板终端需求的扩大，夏普将开始在原来生产大型面板的龟山第二工厂量产中小型面板。有报道称，夏普计划在2010年底已将生产设备出售给中国企业的龟山第一工厂的厂房内新设低温多晶硅TFT生产线（参阅本站报道2/FONT>）。另外，据《日刊工业新闻》报道，预计会全额负担龟山第一工厂生产线设备投资的美国苹果公司“预定2012年上市的新款“iPhone”中使用的中小型液晶面板，日本的供应商已经限定为东芝一家”。对此，夏普于2011年4月20日刚提出过抗议。

在4月21日的发布会上，有记者问到了龟山第一工厂今后的情况，不过夏普的迫周司只回答说，“这属于特定事项，今天不便回答”。（记者：佐伯 真也）