亚智科技推出全新Manz Slit Coater 助力大尺寸面板制造

高科技产业整合解决方案供应商亚智科技(Manz Asia Ltd.)推出了全新的光阻涂布设备 Manz Slit coater，该设备结合了德国Manz AG多年的自动化传输及多轴控制驱动技术，采用气悬浮平台控制技术进行玻璃基板的传输与光阻涂布，可完全免除基板静电及刮伤的问题。另外，Manz Slit Coater 以固定龙门进行光阻涂布，与传统Slit Coater 相比，精确性与稳定性更高。亚智科技总经理陈国平表示：“玻璃基板大尺寸化是未来的发展方向，期望在未来的‘大’竞争市场中立足，不能只依赖因为扩大基板尺寸带来的成本降低所生产的竞争力，而是必须持续进行相关技术的革新。”

全新的Manz Slit Coater应用于平面显示器Array段黄光生产制程的光阻涂布，它的开发导入了源自德国母公司Manz AG的核心技术，在自动化传输及多轴同步控制驱动技术方面运用了气悬浮平台控制技术，这项技术原来应用于薄膜太阳能电池生产的激光划线设备。而多轴同步控制技术则来自于Manz SpeedPicker 六轴机械手臂控制系统。

“亚智科技专注于平面显示器及触控面板湿制程设备的研发与制造，拥有超过二十年的丰富经验。来自Manz光伏领域先进技术的共享，使Manz Slit Coater在大尺寸面板制造的强劲发展中更具竞争力。”陈国平解释道。Manz AG首席执行官Dieter Manz先生强调：“这也体现了Manz通过多样化实现协同的战略已经卓见成效。”

传统的Slit Coater是采用花岗岩平台吸附基板，搭配单支或双支机械手臂进行放板和取板，利用移动式的龙门进行光阻涂布，不仅在传输过程中容易造成基板刮伤以及产生静电，在生产大尺寸面板时产出效率慢，而且移动式龙门的驱动力造成的振动，也会影响光阻涂布的均匀性及品质。亚智科技全新推出的Manz Slit Coater，采用气悬浮平台控制技术，上下游并可直接搭载输送机，无需机械手臂传送，无基板刮伤和静电问题。固定式龙门的涂布设计，强化了结构强度及动力，还可配合大尺寸面板的需求设计，大幅地缩短节拍时间，提升生产效率。总经理陈国平还表示：“我们的创新技术能够缩短总工程时间、降低成本，可大大提高企业的投资回报率，Manz Slit Coater具有极富吸引力的价格，将令制造商如虎添翼。”

Manz G2 Slit Coater应用于触控面板黄光生产制程的光阻涂布。

固定式龙门的涂布系统与气浮输送方式，可有效控制光阻涂布的均匀性及品质，避免传统输送方式造成的基板损伤。

从2009年开始，亚智科技投入平面显示器面板生产Array段的黄光制程设备开发，积极跨入干制程设备制造领域，进行产品多样化布局。目前亚智科技正在进行针对高阶LTPS面板生产制程的光阻涂布的开发，已进行至实验机阶段。全新双龙门的设计，可快速进行不同光阻材质的涂布切换，减少待机。另外，搭配超硬合金材质的刀嘴设计，更可大幅降低因涂布异常造成的涂刀损坏，并减少维护时间。另外，亚智科技位于苏州的新工厂即将于2012年5月正式投入生产，届时将得以更快的速度响应用户的需求，进一步扩大生产产能。