以量产为目标的高可靠性氧化物TFT成果接连发布

氧化物TFT的发布在此次“SID”（全球最大的显示器学会，2011年5月15～20日在美国洛杉矶举行）上也非常多。而且，有关高可靠性的发布趋于增加，令人感到氧化物TFT终于接近了实用化水平。

单从分会名称上看，涉及氧化物TFT的只有“Active Matrix Devices的Oxide TFT I和II”两个，但“OLED Displays II”分会的发布也都集中于将氧化物TFT用于背板上。而且，还有将氧化物TFT应用于柔性显示器的发布。此外，在展板会议的26项“Active-Matrix Devices”发布中，有18项都与氧化物TFT相关。这表明，作为最有希望的新一代FPD用元件技术，有大量研究人员在从事氧化物TFT的开发。

Oxide TFT I：发布200℃工艺以及降低截止电流的新技术

在“Oxide TFT I”分会上，首先东芝发布了使用以低于200℃的低温工艺在树脂基板上形成IGZO（In-Ga-Zn-O）TFT试制的柔性有机EL面板。BT试验结果显示，在Vgs＝20V、70℃、2000秒的条件下ΔVth＝0.22V。试制面板的性能指标为：3英寸、160×120像素、2Tr+1Cap（双晶体管单电容器电路）像素电路、底面发光型白色有机EL+彩色滤光片结构、开口率为40％。TFT内置扫描驱动电路。

?

韩国三星移动显示器（SMD）发布了实现让内置扫描电路稳定工作以及低耗电化的14英寸有机EL面板（论文编号：4.2）。使用浮游栅极降低了氧化物TFT的截止电流。

氧化物TFT的Vth一般多在0V以下，Vgs＝0V条件下的截止电流较大。因此存在普通电路难以工作以及耗电量变大的问题。因此，SMD将电路的一部分制成了浮游栅极构造，在开始扫描之前设定适当的电位。在此基础上，还通过电容耦合来控制输出信号，确保了工作的稳定。

作为另外一种方法，SMD还发布了主动优化栅极偏压的动态Vth控制式电路（论文编号：49.3）。试制的有机EL面板的性能指标为：14英寸、960×540像素、3Tr+1Cap像素电路。