东芝开发出11.7英寸柔性有机EL面板

东芝开发出了11.7英寸的柔性有机EL面板，并在美国波士顿举行的“SID 2012”上发表了相关论文。在开发人员见面会上，除公开了该面板工作演示的影像外，东芝还展示了在薄膜上形成的驱动元件(TFT)。

此次开发产品的像素为960×540，清晰度为94ppi，通过氧化物半导体非晶IGZO TFT进行驱动。组合使用白色有机EL材料与RGB三色彩色滤光片(CF)实现彩色显示。有机EL元件的构造为从TFT基板提取光的底部发光型。面板的开口率为42%。

制作流程如下：在玻璃基板上涂覆厚度为10μm左右的聚酰亚胺(PI)后，通过真空成膜与光刻技术形成非晶IGZO TFT;然后在TFT阵列上形成彩色滤光片与白色有机EL;最后，剥离玻璃基板制成柔性面板。东芝表示，“可最轻松地实现量产和大屏幕化”。

非晶IGZO TFT是在半导体层上部设置蚀刻阻挡层的底栅型。为提高可靠性，在蚀刻阻挡层与源漏电极形成后，追加了300℃以下的退火处理。载流子迁移率为17.3cm2/Vs，阈值电压为0.86V，亚阈值摆幅(Subthreshold Swing)为0.21V/dec。

东芝同时还推出了将此次开发产品与传感器组合使用，通过弯曲显示部分进行操作的直观用户界面(UI)。由此，该柔性面板不仅具有重量轻、可弯曲的特性，“还可提供新的附加值”(该公司)。演示中展示了通过稍微弯曲面板来放大或缩小地图应用的实际情景。