NTSC规格比超过100% 索尼展出9.9英寸柔性有机EL面板
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索尼开发出9.9英寸的柔性有机EL面板,这是一款像素为960×540的产品,像素间距为228μm,清晰度为111ppi,厚度为110μm。
驱动元件采用氧化物半导体非晶IGZO TFT。通过组合使用白色有机EL材料与RGBW4色彩色滤光片(CF)实现彩色显示。有机EL元件的构造采用从与TFT基板相反一侧提取光的顶部发光型。色彩表现范围NTSC规格比高达100%以上。
此次的开发品使用两张在玻璃上贴有薄膜的基板制作而成。在一张基板上形成TFT和有机EL元件,另一张基板上形成彩色滤光片。将这两张基板粘结后剥离玻璃,从而制成柔性面板。TFT、有机EL元件与彩色滤光片可采用与普通玻璃基板相同的制作工序,因此“在量产柔性有机EL面板时,这是一个比较实际的选择”(索尼)。
非晶IGZO TFT采用普通的真空成膜与光刻技术制成。IGZO层通过溅射成膜,栅极绝缘膜(SiOx)通过PECVD成膜,TFT构造为底栅型,为提高可靠性在半导体层上部设置了蚀刻阻挡层。载流子迁移率为13.4cm2/Vs,亚阈值摆幅(Subthreshold Swing)为0.2V/dec.,“与在玻璃基板上直接形成时基本相同”(索尼)。据索尼介绍,在将玻璃剥落前后,TFT特性没有变化。
白色有机EL元件通过蒸镀低分子材料形成。采用顶部发光构造是“为了利用在有机EL电视、显示屏和头戴式显示器用面板中积累起来的技术和经验”(索尼)。彩色滤光片采用普通的光刻技术制作,工艺温度在100℃以下。