名古屋大学等用柔版印刷技术制造出柔性显示器用CNT-TFT

由日本名古屋大学工学部副教授大野雄高与阪东化学组成的研究团队，利用柔版印刷技术试制出了柔性显示器等用的碳纳米管（CNT）TFT，获得了高达112cm2/Vs的迁移率。并在2012年13日在日本爱媛大学举行的“2012年秋季第73届应用物理学会学术演讲会”（2012年9月11～14日于）上发表（演讲序号：13a-C2-5）。

柔版印刷是凸版印刷的一种，其特点之一是使用橡胶版或光硬化树脂制柔性版。该印刷技术要利用光硬化性等制成印刷图案的圆辊状凸版，并用表面为多孔状的辊子（网纹辊）将水性油墨蘸在版上来印刷。印刷精度虽比凹版略低，但其处理量远高于丝网印刷及喷墨印刷。

大野等着眼于高处理量、低成本性以及与卷对卷方式的适应性，利用柔版印刷技术试制了CNT-TFT。

整个工艺全部在常温常压条件下进行，栅电极及源/漏电极使用银纳米粒子、栅绝缘膜使用亚胺树脂、TFT的沟道层使用CNT。CNT图案形成使用常压下的氧（O2）等离子体，而为形成图案的光刻胶层也是使用印刷技术形成的。

CNT系使用大野研究室正在开发的气相过滤干转印法制造。基板使用PEN（聚萘二甲酸乙二醇酯）薄膜。印刷速度为6.6cm/秒。

试制的CNT-TFT的沟道长度为115μm，载流子迁移率为112cm2/Vs，导通/截止比为104。载流子迁移率数值之高足可供显示器驱动TFT使用。（源自：《日经电子》 记者：野泽哲生）