[导读]Oxide TFT已成为2011年面板业界最热门的话题之一。包括日本Sharp和韩国三星Samsung、LG Display,以及台湾的友达(2409)等面板大厂,近来都持续针对Oxide TFT技术加强布局。其中,Sharp已将旗下龟山8代线设为Oxide
Oxide TFT已成为2011年面板业界最热门的话题之一。包括日本Sharp和韩国三星Samsung、LG Display,以及台湾的友达(2409)等面板大厂,近来都持续针对Oxide TFT技术加强布局。其中,Sharp已将旗下龟山8代线设为Oxide TFT技术之生产据点,并已推出10.8寸Oxide TFT面板。三星也积极取得多项Oxide TFT技术相关专利,并推出10.1寸Oxide TFT面板。至于LG Display和友达则已分别推出4.3寸、4寸之高解析度Oxide TFT面板。
根据工研院IEK资料显示,主要系因为现有非晶矽a-Si TFT制程良率虽高,但在提升解析度上有所限制,而厂商积极切入的LTPS低温多晶矽TFT技术虽有利于提升面板解析度,并且mobility迁移率也高,但制程光罩数量较多、成本较高。此外,LTPS TFT技术在进行大面积雷射退火时,良率不易控制,在面板的尺寸发展上亦有障碍,目前仅以中小尺寸为主。
而Oxide TFT技术因结合了a-Si TFT与LTPS TFT技术之优点,同时可利用溅镀法制造,并且无须将现有的生产线作太多变动或投注更多资金添购设备。市场研究机构IDC表示,面板厂商只需改变材料,同时投入时间及人力调整制程参数,就可提高良率。此外,Oxide TFT面板的产品发展也利于朝大尺寸推进。
目前包括韩系面板大厂三星、LG,以及日本Sharp,甚至台湾的友达(2409)都已陆续投入Oxide TFT技术。不过,可能是受到资源限制影响,目前还是以日韩面板厂态度较为积极,并且技术面也领先。
Sharp系于2011年4月间发表以Oxide TFT技术生产的TFT-LCD液晶面板,是全球第一家正式将Oxide TFT技术导入量产的面板厂。该公司曾表示,未来可能会将Oxide TFT技术应用于10寸以下中小尺寸(如智慧型手机应用)面板生产,近来更发表了10.8寸、解析度达1366x800(FWXGA)、300PPI的面板,其耗电量仅传统同尺寸TFT面板的2/3。
Samsung则系于2011年7月间与日本科学技术振兴机构JSL针对使用氧化物半导体IGZO TFT技术专利,签署了授权协议,此外,三星也从东京工业大学等单位取得数十项相关专利。目前三星已经推出10.1寸、解析度2560x1600(WAXGA)之Oxide TFT面板。
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