中微公司首次进入半导体照明市场

推出低成本高产能的MOCVD设备，用于发光二极管、硅基氮化镓生产

上海2013年3月14日电 /美通社/ -- 在下周即将举行的 SEMIcon China 展会期间，中微半导体设备（上海）有限公司（以下简称“中微”）将正式发布多反应器金属有机化合物气相沉积设备（MOCVD），并首次进入半导体照明市场。Prismo D-Blue™ MOCVD 设备可以实现复杂的氮化镓、铟镓氮、铝镓氮超薄层结构的大批量生产，这些超薄层结构对于高亮度 LED 是必需的。中微的 MOCVD 设备不仅具有精准的参数控制、全自动化处理和独特的紧凑设计等特点，而且拥有高生产率、高产能和低成本投入，是 LED 芯片制造过程中必不可少的新一代 MOCVD 设备。

目前，中微已有 MOCVD 设备在国内一家著名的 LED 厂家运行。

硬件优势：中微具有自主知识产权的 MOCVD 设备可以容纳多达4个反应器，每个反应器都可以独立控制。这一创新设计可以实现卓越的生产灵活性。它也是该类设备中唯一带有这一特性的产品，也就是说，中微的 MOCVD 设备可以以并行或者串行模式运行，这就减少了交叉污染，并且保证了晶体的高质量，这是先进的 LED 器件所必需的。中微的MOCVD设备在占地面积上也有相当的优势，它比竞争者的单反应器机台的占地面积小了近30%，因此，Prismo D-Blue对于目前的 LED 芯片生产线无疑是占地面积更小的绝佳选择。

设备优异，市场广阔，时机成熟：进入半导体照明市场对于中微而言是水到渠成的一步。作为一个新兴的创新领军者，中微为全球半导体制造商提供了先进的工艺技术和设备。目前，中微已有超过200个刻蚀反应台在亚洲16条国际领先的半导体生产线上运行。中微在硅技术上积累的丰富经验和工艺知识，以及它严谨的研发协议和材料工程背景，造就了一系列半导体制造前端设备。现在，中微又将这些运用在了 Prismo D-Blue 的研发上。中微新的 LED 客户还将受益于公司严格的供应商管理协议。

现在对于一个新的 MOCVD 设备制造商来说也是一个良好的发展时机，尤其对于研发和制造中心在上海的制造商来说。根据法国市场研究机构 Yole DevELopment 预测，到2017年，MOCVD 设备的市场规模预计将达到43亿美元。中国在全球制造业中仍将占主导地位。灯泡价格将下跌，LED 照明将取代传统白炽灯。灯泡变得更便宜，当然就意味着 LED 制造商能获取的利润更紧缩，这就使得设备制造商提高生产效率比以往任何时候都显得尤为重要。中微的 MOCVD 设备具有极高的生产效率，在这样的市场环境中则更显其优势。

“进入半导体照明市场是公司发展策略中的一个重要组成部分，”中微资深副总裁兼 MOCVD 产品事业群总经理杜志游博士说，“我们专业的 MOCVD 技术团队建立了一个优势明显、极具灵活性的 MOCVD 平台，它具有其独特创新性，可以解决复杂技术和生产方面带来的挑战。能够为客户提供高产能低成本的技术，用于他们先进的 LED 器件制造，对此我们感到非常兴奋。”

Prismo D-Blue具有卓越的工艺性能和生产效率：中微的 Prismo 机台可以同时加工216片2英寸晶圆。它的工艺能力还能延展到生长4英寸、6英寸和8英寸外延晶片。除了具有多反应器结构的优点可以使其加工灵活性达到最大化以外，Prismo D-Blue 在每个关键性能指标上的表现都十分出色。在马拉松测试中，它表现出了优异的片内和片与片之间的均匀性以及很好的重复性。这些结果都是在整个外延晶片加工的过程中未作任何工艺参数调整而得出的。外延晶片加工的过程对于反应腔室表面的条件、化学气体环境、温度转换控制和其他可变因素都极为敏感，因此在这种加工过程中，能达到持续的重复性确实有它独到的一面。

在上述马拉松测试中，Prismo D-Blue 从未发生过任何异常中断，中微通过对工艺参数现场实时的监控实现了高可靠性。这种高可靠性还得益于一系列复杂的软件程序、先进的传输模块、流程自动化和控制技术。这些同样也是使得中微的半导体前端加工设备被业界广为认可的技术。

Prismo D-Blue 还被进一步优化以方便用户更易操作与维护。这对于一个发展迅速并看重成本的 LED 芯片制造商来说是至关重要的。卓越的加工性能和正常可运行时间可以拉大服务之间的差距，而新颖的设计特点则能够使得设备维护更加简便易行。同时，自动化、可编程的维护程序使得反应腔开关操作更加安全、快捷、可预测并且不易出错。

Prismo D-Blue 目前已拥有100多项专利（包括授权和未授权专利）以保护其独特的创新性。此外，它还遵循了半导体制造规则并完全符合 SEMI 标准。