TCO制程掌握关键制程设备为首要

触控面板中，最昂贵的材料非「透明导电膜」(TCO)莫属。工研院机械所今年成功研发「低温大气压电浆镀膜技术」，是全球首创第一个完全符合绿色制造标准的制程，碳排放降低3分之一，成本也降低许多，不仅在去年得到华尔街日报的科技创新奖，也于今年得到全球百大科技(R&D 100)金奖。

有趣的是，发展这项技术的，是工研院机械所号称的「18人闪电团队」，这一群研发人员，成天在实验室冒着触电的危险，不断地测试、研发。工研院机械所先进制造核心技术组电浆应用技术部张加强经理表示：「所谓的大气压电浆，就是藉由取得大自然中的闪电，运用「锌」来合成，因此只需要空气与含金属离子的水溶液，就可以在短时间内完成透明导电膜镀膜。」

这样电浆镀膜的制程上，能解决过去真空制程的耗电，以及解决有毒材料的环保问题。张加强说明，现今主流ITO透明导电膜，采用的「铟」材料，掌握在中国手上，不但价格高，且必须在真空镀膜设备中制造。若是运用一般性材料「锌」替代「铟」，价格是铟的280分之一，因此从材料端就可以省下成本，设备端也能够让台厂真正自主，解决产业关键瓶颈。

传统的镀膜制程需要在真空下运作，且制造采用有机金属喷涂，且制造环境相当昂贵，具有毒性。张加强解释，「透过大气压电浆技术生产的『图案化透明导电膜』采用低温制程，无毒，且导电性比传统ITO好，不但可以运用在玻璃基板上，也可以应用在软性基板上。」目前已经到达量产规模，未来可以应用在薄膜太阳电池产业以及面板产业合作。

张加强表示，目前光电产业中，主要关键材料TCO全部由日、美垄断，包含日东电工(日本)、旭硝子(日)、PPG(美)。因此，开发出独创且环保的TCO玻璃基板设备技术(以GZO取代ITO)，掌握关键制程设备，台厂才能突破光电产业竞争的瓶颈。