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[导读]LED产业外延芯片制造行业的同行,对爱思强(AIXTRON)和维易科(VEECO)两家MOCVD设备制造商是“爱恨交织”。 爱思强和维易科生产的设备,在外延芯片制造过程中不可或缺。也因此,这两家分别来自德国、美国的供应商长期把

LED产业外延芯片制造行业的同行,对爱思强(AIXTRON)和维易科(VEECO)两家MOCVD设备制造商是“爱恨交织”。

爱思强和维易科生产的设备,在外延芯片制造过程中不可或缺。也因此,这两家分别来自德国、美国的供应商长期把持了MOCVD产业90%以上的份额。

另外,由于国内地方政府2009年起实行MOCVD设备采购的高额补贴,令补贴政策的真正受益者不仅是国内LED企业,更推动了爱思强和维易科收益的大涨。

近2年来,中国企业也不断在MOCVD设备制造领域中求突破。尽管未必会享受到地方政府“豪气”的补贴,但若打破“外来和尚”的垄断格局,在LED产业仍处于发展中的阶段,国内企业也将分享到产业“红利”。

“外来和尚”垄断

MOCVD是一种“金属有机化合物化学气相沉淀”技术,该技术设备报价在1500万元/套,占LED外延芯片生产成本的40%~50%。

2009年前,MOCVD产业都不算是一个体量很大的行业,它被用在蓝光、大功率材料切割、光纤通讯以及医疗等方面。

中晟光电设备(上海)有限公司(下称“中晟光电”)一位负责人说:“2009年前,LED产业和MOCVD市场很小,只有爱思强和维易科、一家日本公司提供MOCVD设备。2009年后,由于背光源的应用,LED产业实现了井喷式的发展,给这两家公司提供了发展契机。此外,新进入的MOCVD提供商,有的不能提供满足客户需求的设备和技术(如美国的应用材料公司),有的未能及时提供设备赶上市场的窗口,导致了爱思强和维易科‘霸主’的局面。”

截至2012年,维易科占该产业62%的市场份额,爱思强的市场占有率降低至28%,退至第二。

全球LED需求的增长,促使了这两家海外企业订单的上升。2010年、2011年,来自中国的买家大手笔采购,更使爱思强和维易科“数钱数到手软”。这背后,是中国地方政府的慷慨补贴。

光达光电设备科技(嘉兴)有限公司(下称“光达高科”)创始人兼CTO梁秉文,用自己掌上电脑中的图片来说明市场到底有多“疯狂”:2006年,全球MOCVD设备出货量不到100台,2007年为100多台;到了2010年,该数字达到了800多台,同比2009年增长277%。“但市场的正常需求大约是300到500台。”

也有数据显示,2010年800台的MOCVD设备出货量中,有60%(约480台)来自于中国的需求。而2011年,中国的MOCVD新增量约为483台,2012年则降到了200多台。

“我估计在2010年、2011年期间,来自中国地方政府对MOCVD设备的补贴额就在几十亿元左右。”梁秉文称。

2009年,江苏省扬州市率先出台政策,对不同的MOCVD设备,分别实行800万、1000万元的不同补贴标准。随后,厦门、佛山及芜湖等地也纷纷仿效。三安光电、德润豪达、国星光电等国内公司在政策“激励”下,大肆采购MOCVD设备。如三安光电和德润豪达的采购量就高达上百台之多。

彼时,欧美企业也意外地“躺着数钱”。爱思强2008年、2009年的收入为2.744亿欧元、3.029亿欧元,但2010年、2011年的收入分别达到7.8亿欧元和6.1亿欧元。它的EBIT(息税前利润)在2010年暴增到了2.75亿欧元,2009年仅为6270万欧元。

同样,维易科2010年的业绩创出历史最高纪录达9.33亿美元,利润为2.61亿美元。其中,该公司当年第四季度的收入为3亿美元,同比2009年的1.19亿美元大幅增长。

中国企业“抢攻”

尽管中国地方政府现有补贴幅度已经减缓,但LED的大发展仍势不可挡,MOCVD设备的研发、生产仍存在较好前景。目前,包括中晟光电、光达高科、广东昭信及上海理想能源等数家公司都在积极涉足。

梁秉文说,2013年1月,光达高科已通过了MOCVD设备的工艺能力验证,并与国内外公司达成了长期供货意向。前述中晟光电负责人也透露,今年3月中晟光电已上市了自主研发的首台MOCVD设备,同时也有了客户。

但中晟光电前述负责人对本报记者说:“MOCVD是LED产业链中的核心高端装备。它不仅涉及50多种学科和很多高端技术,而且LED外延工艺难度很高,外延薄膜质量、薄膜厚度和波长均匀性和重复性的严格要求,对MOCVD设备开发提出了巨大的挑战。MOCVD设备的研发投资额耗费巨大,若企业没有长期、持续的投入,很难在短期有立竿见影的经济效益。”

“在市场方面,两家海外企业现正大幅降价,亏本倾销,这会严重打击国内的竞争者。”中晟光电上述人士表示,爱思强和维易科过去3年获得了巨大的政策及利润优势,因此目前降价幅度高达40%~50%。

梁秉文则认为,两家海外公司低价处理设备的另一原因是,个别国内大公司虽在几年前下单订购MOCVD,但没有真正采购,造成了海外设备商有大量的库存,需要解决这些库存产品。

SEMI中国资深分析师兼LED项目经理戚发鑫也表示,国内几个新进入的企业,已经有因起步不顺以及市场竞争而退出的。厦门光电子行业协会秘书长马承伯也对记者说,国外的MOCVD厂商长期居于垄断地位,其用户从维护成本角度考虑,可能不会轻易转用国内的产品。

梁秉文说:“现在还不清楚国内政府的补贴是否也会倾向于国产化的公司,如果能有针对MOCVD国产化的适度补贴政策,那么国内企业也有望尽快获得一部分的MOCVD市场份额。”

一些国内企业也在试图寻找该产业中的“蓝海”战略。如光达高科会提供一整套的技术解决方案,大幅降低客户对工程师的依赖,让技术人员易上手。“国外企业除了供应设备,其余的服务如工程师、售后服务等价格是十分昂贵的。”而中晟光电的策略则是,研制不同尺寸的多套设备供客户选择;而且其称,外延芯片的生产成本也为“世界最低”,可大量降低气体和水电的消耗。2013年,中晟光电计划实现8000万元的销售,并在今年11月投产新厂房,届时望有4亿~5亿元的生产能力。

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