甘志银：以技术为支撑，推进MOCVD设备国产化

他身为华中科技大学机械科学与工程学院的教授，在半导体工艺设备设计与制造等方面造诣颇深;他自认为是MOCVD设备行业的“后来者”，却带领研发团队早已展开了创新研发之路，并拥有了多项MOCVD核心专利;他是国产MOCVD设备产业化的推动者，率领企业将国产MOCVD设备成功交付企业使用......他就是广东昭信半导体装备制造有限公司(以下简称“昭信”)的总经理甘志银先生。

在中国国际半导体照明论坛(CHINASSL2013)期间，广东昭信半导体装备制造有限公司总经理甘志银先生受邀做客“光友汇”访谈直播间，与大家分享了他在MOCVD设备国产化过程中摸索出的很多值得业界借鉴的经验。

记者：国产MOCVD设备最难的是第一台设备的交付，在2013年8月昭信已经将第一台设备交付企业使用，您能简单介绍一下广东昭信半导体的基本情况，并分享一下成功交付第一台设备的经验吗?

甘志银：昭信半导体装备有限公司是2009年成立的，我们专业做LED设备，实际上,包括我在内的整个研发团队都是来自于华中科技大学。

至于经验，实际上在2009年进行产业化时，我们的设备就已经制造出来了，但当时一直没有提交给企业使用，原因是因为稍微不慎就可能出现问题。比如，设备一旦到企业里使用的不是很好，就不会得到大家的认可，就容易形成“见光死”。尤其是对于提供大型设备的公司来说，对产品的了解和需求需要有一个发展过程。首先，我们把产品做出来以后，通过三年左右的时间对设备进行一步步改进，对设备的可靠性进行认证，并完全按照国外大型设备验收程序一步步进行验收，相比我们的竞争对手和同行，我们可能在这方面花的时间多一些。

其次，我们在与客户沟通和交付使用时能够站在客户角度考虑问题。比如他们关心什么问题，客户提出问题出来，我们就在企业内部把这些问题一一解决，直到客户已经挑不出毛病的时候才交付企业使用。再者说，即便有这样一个沟通交流过程，企业可能还存在担心。对此我们就许下承诺，企业在使用设备过程中，如果对企业造成风险，我们承担一切的责任和风险。我们敢许下这样的承诺，正是因为我们对自己的产品有信心。

记者：您对自己的设备信心特别足，那昭信的MOCVD设备特点和优势是什么?目前面临的问题有哪些?

甘志银：因为国内MOCVD设备是站在国际企业肩膀上做的，我们甚至会站在客户角度，对客户的特别需求进行改进。面临的问题主要是在MOCVD设备推广过程中，由于LED行业正在进行调整，给我们设备的推广增加了一定难度。但是只要客户通过验证并使用过我们的设备，相信这些问题都会一一消失。

与国际MOCVD设备相比，国产MOCVD设备最主要是价格优势。因为只要国内实现国产化，就应该在成本上具有绝对优势。MOCVD在推广过程中我们不赞成进行价格竞争，国产MOCVD设备在一千万以下，对工厂造成的购置成本压力并不是很大。我们要提高产品良率，同时不需要过多的人工干预和维护，企业的成本压力反而来自于其它方面。比如Veeco设备在市场上大行其道，用动态成本进行统计，一片外延片价格大概是170-180元，相对现在市场价在230元以上，大概有50-60元的盈利空间，对于设备购置成本来说大概有10元。相对于人力和设备维护成本开支，国产设备的购置成本就不是关键。

另外，目前国外MOCVD设备对技术人员要求特别高，核心技术人员人工成本也很高。而我们的设备高中生就能轻松操作，并且不会出现安全问题。我希望未来MOCVD设备应该是“傻瓜机”的概念，如果一直高高在上，这样走向照明企业就很困难。

记者：目前在国家和地方政府的大力支持下，LED产业取得了很大发展，但也造成了产能过剩的局面，昭信是怎样应对市场变化的?

甘志银：在国家和地方政府的扶持下，LED产业得到飞速发展，同时也面临产能过剩问题。虽然LED照明前景很好，但是市场需要一步步推进，成本需要一步步消化。包括MOCVD设备在内，2010-2011年一下从300多台增长到700多台，增长速度过快导致目前产业发展的困局。另外，LED应用也在不断地推动这个产业往前进，并在推的过程中由于企业太多，鱼目混杂，大家会考虑LED产品是不是好产品。

尤其MOCVD设备企业，风险很大的一块就是技术的跟风性。从2005年国外30片机，2007年50片机、55片机，然后又到69片机，企业疲于奔命不断的跟风。由于企业不断烦的跟风就造成两个不平等，一个是政府的补贴造成企业之间的不平等，一个是市场的设备更新造成了企业发展的不平等。后来投资者用同样的钱甚至用更少的钱买了更大的产能，造成行业里看起来买了很多台设备，但是很多台设备都是2007年、 2009年以前淘汰的废品。对于MOCVD设备来说，国内MOCVD设备从统计数字看好象过剩，实际上不是过剩，只是大家都在思考LED整个产业到底应该怎么走，现在还没有形成对它强烈的市场需求，这也正是我们所面临的发展困局。

记者：您可以说是技术出身，您客观地评价一下目前国产MOCVD设备的技术水平到底到达了什么地步?

甘志银：我们从2009年做MOCVD，当时做生产研模只有一家，到2010年、2011年做MOCVD的非常多，我只能评价我自己。通过这几年发展，我们发展MOCVD的技术跟国外没有什么差别，我们所开发出来的MOCVD技术不比他们差，甚至很多方面还比他们强。我们的设备实际上在很多情况下表现的比国外设备好，包括设备在生产线使用的情况，也是呈现这样一个现实。现在企业对国产设备认知的存在心里误区，尤其在学术群体当中MOCVD设备是个皇冠，觉得国内企业不太可能做好。其实企业存在疑虑很正常，随着我们企业在市场上投放更多MOCVD设备样板工程，这个疑虑会逐渐打消。

记者：要企业通过心理槛，不但需要做样板工程，还需要得到政府哪些方面的支持?

甘志银：民族企业在市场成熟环境下是面临压力的，像我们这样一个由民间资本投资的民营企业，我们面临的压力更大。LED整个产业链变化的局面不是我们一家企业能够控制的，即使我们产品再好，没有强烈的市场需求，就会阻碍我们企业的发展。

在这个过程中我们需要政府的扶持，但不需要一次性补贴。如果政府补贴给我们做MOCVD设备的厂商，就会造成很多人无序的进入这个行业。 简单地说，我们需要政府对产业扶持和财政补贴，就像节能家电补贴一样补贴给市场、补贴给消费者，而不是补贴给企业，这样才能真正推动整个市场的发展，解决企业所担心的问题。[!--empirenews.page--]

记者：昭信已经成功走出困扰很多国产设备厂商的第一步，您觉得昭信跟其他国产MOCVD设备厂商相比差异化优势是什么?

甘志银：在差异化方面，我们有足够多的思考。一直以来我们都把国际上进口产品作为样板，我们要考虑怎么比他们做的更好。我们的特色就是要把MOCVD设备“傻瓜化”。所谓MOCVD设备傻瓜化，并不是说不要我们的博士和高级研究人员，我们想把这些高级研究人员从设备中解脱出来，让他们专注做好LED芯片本身的设计，剩下的事情由一般人员进行操作，甚至不需要过多的人工干预设备就能做出产品。从这个程度上讲，把MOCVD设备做成“傻瓜化”就是我们的优势。

尤其是做大型设备，没有好的技术支撑是根本做不出好产品的。我是技术出身所以特别专注技术，我们把技术做强了就能拿出真金白银的东西，就不怕没有竞争力。再者说，MOCVD设备可是价值几百万甚至上千万，不管是使用方，还是供应方，都是有强烈的责任，一定要把产品做到客户所希望的水平，所以必须真金白银。

记者：现在公司已经交付了第二台设备，未来还有什么样的计划?

甘志银：我们已经交付了第二台设备，未来几个月还有四台设备要交付。现在我们的设备可以媲美国外设备，企业观望我们我非常理解。我们在做的四台设备，将在2014年2月份之前基本完工。我们会把这些设备投放到市场中，让市场去检验我们设备的品质，并希望以此形成样板力量。

记者：您觉得在未来十年想要把握住发展的主动权应该怎么做?应该在哪些方面进行提升?

甘志银：未来十年企业如何定位发展，肯定更多的重心会放在企业服务上，而不仅仅是放在产品上。另外，我们过去把百分之百的精力都投入在产品研发这块，已经形成部分储备。今后MOCVD设备该怎么走，我们花了很多功夫对它的路线进行规划。现在我们在做的几个事情：第一，站在企业的角度，对设备进行提升;第二，希望把现有的产品技术进行标准化，让所有LED外延企业都站在比较好的基础上，提供标准化的平台，在标准化产品上再去显示差异化。我们这样做也是受形势所迫，不这么做，就显示不出我们国产MOCVD设备的优势，我们必须比国外设备做更多的铺垫才能为其市场开路。

记者：最后畅想一下，觉得未来十年MOCVD设备会达到什么水平?

甘志银：我对LED行业充满信心，也希望LED产业越来越红火，这样我们MOCVD设备才会有更大的发展空间。谈及未来，也只是一种愿景,但未来的照明一定是LED白光照明，未来的十年也一定是国产MOCVD设备的天下。我对此充满十足的信心，也是因为我充满信心，才带领一大批团队不断的为这个目标而奋斗。