Rubicon将在LED韩国展展示大尺寸图案化衬底
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LED半导体照明网讯 Rubicon将在LED韩国展展示去年10月所推出的大尺寸蓝宝石衬底(PSS)以及六寸抛光蓝宝石衬底。
大部分高亮度LED厂商在蓝宝石衬底上蚀刻图案,以提高外延生长和光萃取,现有小尺寸的图案化蓝宝石衬底,而Rubicon宣称这是业界首次能够提供高定制化的6”和8” PSS。Rubicon现可提供现成的 4”、6”和8”PSS。
Rubicon的图案化衬底为定制化亚微米级,尺寸公差小至±0.1μm以内,边缘排除区小至1mm,因而可提供更多可用区域,以最大化每片晶圆的芯片量,现有角锥形、圆顶形和金字塔形,以及各种排列的衬底图案。