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[导读] 爱思强股份有限公司(AIXTRON SE)是半导体产业领先的沉积系统供应商。其已将一个新的研发用集簇设备投入运营,该集簇设备可展示用于生产有机半导体的核心制程。生产有机发光二极管OLED及柔性电子元件需要进行

爱思强股份有限公司(AIXTRON SE)是半导体产业领先的沉积系统供应商。其已将一个新的研发用集簇设备投入运营,该集簇设备可展示用于生产有机半导体的核心制程。生产有机发光二极管OLED及柔性电子元件需要进行有机薄膜沉积的各种不同制程,而此集簇设备将有助于实现工业制造条件下有效展示有关生产流程。

该集簇设备已经安装在AIXTRON爱思强的洁净室,包括用于在200x200mm2基材有机材料沉积的若干工艺模块(“Gen1一代”)。该规格有助于AIXTRON爱思强在成本及布局允许范围内、在元件层面上为潜在客户展示其沉积技术的优势。该展示设备的核心是AIXTRON爱思强的三个OVPD (有机气相沉积)模组及一个PVPD(聚合物气相沉积)模组。这些模组嵌在自动化的集簇环境中,并通过多个处理模块及有关基础结构进行增补。

负责有机半导体部门的进一步拓展的AIXTRON爱思强业务发展总监Juergen Kreis解释道:“我们的研发用集簇设备将为工业客户及研究伙伴提供在元件层面上全面展示各种制程的集成环境。完美整合前期及后期生产流程,以及进一步检测元件的特征值延展性将可快速及全面展示我们的核心技术有机气相沉积及PVPD所提供的具体优势。”

AIXTRON爱思强首席执行官Martin Goetzeler表示:“有机半导体对于AIXTRON爱思强具有重大的战略意义。有机发光二极管OLED在未来尤其是有潜力被广泛应用于显示器及一般照明用途。因此,我们已经显著提高对该领域的投资(如对研发用集簇设备的投资)并且推进研发速度。通过这种方式,我们能够满足客户对提高测试及展示可能性的广泛需求,特别是协助我们客户做出未来投资决定。我坚信我们的有机半导体生产系统将在未来的市场中扮演关键角色。”

AIXTRON爱思强专有的有机气相沉积及PVPD流程技术能够以高材料效率及高沉积率生产高质量的有机薄膜,用于有机发光二极管OLED、有机电子产品及其他功能元件。高效率、大规模生产有机薄膜被视为进一步提高有机发光二极管OLED市场渗透率的关键。

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