新技术能大幅削减深紫外线LED制造成本

日本立命馆大学日前发表一份公报称，其研究人员开发出了一种能够以很低的成本高效制作深紫外线发光二极管(LED)的技术，有望成为联合国限制水银使用后被广泛采用的深紫外线光源。

紫外线中波长在200纳米至350纳米的光线被称为深紫外线，被广泛用于净水厂、医院、工厂无尘车间的空气杀菌、处理甲醛等领域。过去，很多深紫外线光源采用水银灯，但联合国去年组织各方签订的《水俣公约》规定要大幅限制水银的使用，所以有必要开发替代光源。

深紫外线LED就可以用来替代水银灯，但是过去制作深紫外线LED时要用昂贵的蓝宝石做基板，其高昂成本限制了普及程度。立命馆大学高级研究员青柳克信等人报告说，可以利用廉价的硅酮取代蓝宝石作为基板，从而能大幅削减成本。

此外，过去的工艺中为了让电流通过，需要剥离基板上的一部分绝缘层。而新方法是在硅酮基板上附着一层氮化铝作为绝缘体，然后在上面开出多个微孔让电流通过。这样做无需剥离绝缘层，大幅缩短了工序，以前需要5天的制作工作可以缩短到1天，而且避免了剥离绝缘层时对LED的损伤，发光效率也得到提高。

研究小组认为，新方法可大幅削减深紫外线LED的制造成本，有望促进这种深紫外线光源的大规模生产和广泛应用。