诺发VECTOR Extreme制定全新PECVD产量基准

诺发系统有限公司(Novellus Systems, Inc.)日前宣布推出VECTOR Extreme™等离子增强化学气相沉积(PECVD)系统 ，该系统每小时的产量高达250片晶圆，是业界最快的PECVD设备。与市场上的其它系统相比，VECTOR Extreme可使芯片制造商的平均生产周期缩短40%以上。另外，工厂的晶圆库存也将显著降低，使客户能灵活应对半导体市场不断变化的需求。

消费电子与电脑产品对固态存储器的需求不断增加促使制造DRAM及NAND闪存器件工厂的产能迅速增加。由于典型存储器件的制造过程需要二十多道PECVD工序，因此在这些业界一流的高产能存储器工厂中，PECVD系统生产量已日益成为影响总体生产周期时间与晶圆库存水平的重要因素。

诺发公司的VECTOR Extreme平台通过将三个多站式顺序处理模块以及多达12个沉积站集成在一个中心晶圆传送室上，实现了业界最高的PECVD生产量。当使用这种配置沉积存储器件生产通常使用的较厚薄膜时，VECTOR Extreme可实现的生产量将是最接近竞争对手的两倍以上。

“随着存储器工厂纷纷上线运行每月计划晶圆产量超过100,000片的生产线，一个对系统生产量有特殊要求的全新PECVD细分市场已经出现。”诺发公司电介质事业部总经理兼高级副总裁Tim Archer先生指出， “VECTOR Extreme吸引了这些超级晶圆厂的注意，因为该设备的生产量高，从而能够减少总设备数，缩短工厂生产周期，从而有助于最小化晶圆库存并降低最终产品成本。”

诺发公司VECTOR系列的其它PECVD产品包括VECTOR Express™（于2007年3月推出）以及可实现可灰化硬掩膜(AHM)技术的VECTOR Express（于2007年6月推出）。VECTOR Express自推出以来迅速得到全球市场的认可，并已开始批量供货。

批量生产的VECTOR Extreme预计将于2007下半年开始供货。VECTOR Extreme实现了业界领先的生产量，同时还保持了诺发公司业经生产验证的VECTOR Express PECVD系统的工艺透明性。