赛斯纯气体公司宣布在中国引入对光刻设备检验的微污染物检验服务

赛斯纯气体有限公司作为一家气体净化技术设备的世界领导者和供应商日前在2009年国际半导体设备与材料展览会上, 正式宣布引入微污染物检验服务和CollectTorr取样系统, 用于对在中国的光刻和测量设备提供检验。

赛斯公司开发的CollectTorr取样系统和离线分析服务能够向尖端光刻和检验/测量设备的最终客户提供一种简单、专用和可靠的分析工具, 对光学系统的分子污染物的吹扫气体进行验证。基于固态捕获器的CollectTorr取样系统与赛斯纯气体公司的尖端分析设备相结合，能够评估pptV水平的分子酸、碱、难熔和有机污染物的含量。

这项服务已经通过一家国际著名的光刻设备制造商的正式认证。

克里斯蒂安?兰东尼先生，赛斯纯气体公司的使用点产品经理说:”我们很自豪地把这项成功开发的固态取样技术和分析技术引入中国, 用于对光刻设备的检验。自从1995年起，赛斯纯气体公司就已经通过在上海设立的销售和客户服务办事处服务中国市场“。兰东尼先生总结道: “为了保持光刻和测量设备的光学系统的担保, 必须采用一种可靠的分子污染物检验。赛斯纯气体公司的压缩气体和环境空气CollectTorr系统提供比通常的液态滤尘器具有巨大的优势, 后者用于分子酸和碱的取样。

微污染物检验分析服务的应用如下:

光刻和检验/测量设备制造商的光学系统和镜头担保的吹扫气体验证

赛斯纯气体公司坐落在美国加州圣路易斯奥比斯波, 是气体中的杂质含量必须达到非常低的极限值的科技应用领域内的全球领导者。通过利用公司的核心能力，赛斯公司开发了应用于半导体和其它高科技市场的超高纯气体处理设备, 事实上对于全部的大宗气体和特气应用领域提供气体净化设备。凭借在气体净化领域20年的丰富经验，赛斯纯气体公司也在最新的半导体工业尖端应用领域，比如, 光刻、测量和检验设备光学系统的吹扫气体净化，成为一家关键的供应商。