韩台企业氧化物半导体TFT开发日渐活跃

韩国与台湾的面板厂商加快了氧化物半导体TFT的开发速度。其目的是掌握有助于提升显示器性能的基础技术，促进液晶面板实现高精细化和大型化以及有机EL面板的大型化和提高可靠性。在“FPD International 2009”现场，各公司纷纷展出了使用液晶面板和有机EL面板的试制品。 

其中包括韩国三星电子（Samsung Electronics）的17英寸液晶面板、韩国LG显示器（LG Display）的6.4英寸液晶面板、韩国三星移动显示器（Samsung Mobile Display）的19英寸有机EL面板、台湾友达光电（AU Optronics）的2.4英寸有机EL面板。各公司展出的都是试制品，并不意是为量产而设计的。也不是具备高精细化、大型化等氧化物TFT特点的面板。但却迈出了确立量产基础——制造工艺和设计技术的第一步。其中，三星集团技术开发的进展之快引人注目。 

各公司都没有透露使用的氧化物半导体的种类，以及TFT的详细构造。只有三星电子公布了少量信息：迁移率为7cm2/Vs。开关电流比为7位数以上，半导体层的厚度为100nm以下，TFT采用Etch Stopper结构。