VLSI Research发布2010年度最佳芯片制造设备供应商奖
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获奖供应商如下:
最佳封装设备供应商——Tokyo Seimitsu
最佳测试设备供应商——Verigy
最佳材料运送设备供应商——SUSS Micro Tec
最佳工艺诊断设备供应商——Keithley
最佳大型晶圆处理设备供应商——Varian
最佳小型晶圆处理设备供应商——Oerlikon
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最佳封装设备供应商——Tokyo Seimitsu
最佳测试设备供应商——Verigy
最佳材料运送设备供应商——SUSS Micro Tec
最佳工艺诊断设备供应商——Keithley
最佳大型晶圆处理设备供应商——Varian
最佳小型晶圆处理设备供应商——Oerlikon