带您逛逛TI 12英寸模拟产品线

德州仪器上周邀请了国外媒体参观德州理查德森的RFAB，这是业界首个300mm（12寸）晶圆厂，也是业界首个经过LEED认证的工厂。（补充：LEED认证的定义 LEED美国建筑环保认证是美国绿色建筑委员会U.S Green Building Council建立并推行的“绿色建筑评估体系”，该体系遵循美国绿色建筑协会政策和方针，目前在世界各国的各类建筑环保评估、绿色建筑评估以及可持续性评估标准中，其被认为是最完善、最具影响力的评估标准。）

RFAB于2004年奠基，2007年建成，经过了两年多闲置，直到2009年TI从奇梦达手中以1.725亿美元廉价收购了12寸晶圆生产线后RFAB才得以继续。

根据TI全球技术及生产部全球制造副总裁Paul James Fego表示，如果没有收购奇梦达设备的话，RFAB将会是8英寸的生产线，而当我们考虑到模拟产品的种类和业务量后，我们认为可以保证300mm晶圆厂的开工率。

    
TI RFAB面积为110万平方英尺，其中洁净室拥有25万平方英尺。

近距离考察RFAB，目前该工厂已经部署了几十家公司的工艺设备，图片是Axcelis及Varian Semiconductor Equipment Associates 的离子注入机。

2009年9月份，TI公布了其300mm生产线计划，几周内，奇梦达的设备便陆续抵达了理查德森，与TI理查德森总部只相距几英里，并且也和TI达拉斯工厂产生了集群效应。RFAB经理Tom Weichel透露，就连RFAB办公室的部分家具，也来自奇梦达工厂。

RFAB在去年底开始试产，目前，25万平方英尺的洁净间每天大约生产350片晶圆，预计2011年底这个数字将达到600-700片。

图中黑色轨道是RFAB的自动化运输系统，由日本村田机械自动化生产，可将晶圆自动运输至各地。

TI 2009年宣布在RFAB雇用约250名员工，但Weichel拒绝透露目前FAB的员工数量。

据悉，RFAB总共涉及的工艺设备超过100种。

RFAB是第一个通过LEED认证的FAB，为了实现这一认证，TI需要提高用水、用电效率，以及废气排放，生态循环以及室内环境等多方面的标准。为此，TI修建了循环水净化系统、雨水储存系统、以及隔离系统等，在RFAB的办公室中，同样包括无水小便池、室内日照系统、太阳能水加热以及感应灯等细节。

Weichel承认，部分LEED的认证项目并不适合FAB，在谈及如何解决绿色工厂与有毒化学品之间的矛盾时，Weichel表示，“首先我们会把安全放在第一位，其次如果不得不使用一些危险品的话，那么我们会尽量重复利用，将污染降至最低。”