尼康强化半导体曝光装置升级业务瞄准功率半导体和三维LSI
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与购买新的曝光装置相比,将顾客现有的装置按照用途升级后,“可以将顾客的成本负担降至几分之一”(Nikon Tec董事社长石井勇树)。
比如,通过升级Si-LSI制造中采用的i线曝光装置,可以将其用于制造化合物半导体类功率元器件等。在采用化合物半导体的功率元器件制造中,必须要有透过晶圆检测定位标记的红外线定位系统等,因此将追加这类功能。
对于前景看好基于TSV(硅通孔)的三维LSI,将采取降低投影镜的开口数(NA)以改善焦点深度(DOF:Depth Of Focus)等改造措施。此外,还将提供自动对焦功能的改善、处理能力的提高、MEMS背面定位功能的追加等升级。
作为升级对象的曝光装置是向亚洲(日本、台湾、中国大陆、韩国、新加坡)客户提供的合计约2640台尼康生产的i线曝光装置(约1990台)和KrF曝光装置(约650台)。主要是200mm晶圆装置,还包括部分150mm装置和300mm装置。另外,对于KrF曝光装置,将更换有污垢的镜头或者进行改进等。(记者:木村 雅秀,日经BP半导体调查)