MEMS需求旺盛 但产业薄弱

【导读】MEMS历经半个世纪的发展，成为几乎所有领域微型化后都必然面对的趋势，形成了纳米器件、生物医学、光学、能源、海量数据存储等诸多分支，并从单一MEMS器件和功能向系统功能集成方向发展，带动与之相关的纳米科学、生化分析、微流体理论等科学研究。

2013年，全球MEMS代工业并未得到期望中的高速增长，只有少数代工厂取得了成功。从全球来看，MEMS代工业滞后于MEMS市场的发展，80%的销售额属于IDM。在全球领先的MEMS代工厂中，纯代工厂有TSMC、X-Fab，纯MEMS代工厂有SILEX、APM、IMT、TRONICS。IDM虽然只有ST、SONY、Dalsa三家，但在收入中占比接近60%。纯代工模式在MEMS领域仍属“非主流”。

中国MEMS产业化进程明显滞后于西方发达国家，旺盛的MEMS市场需求与相对薄弱的产业形成反差。具有一定知名度和出货量的本土MEMS企业仍然屈指可数，逐鹿中国市场的主要竞争者仍以跨国企业为主，产业迫切需要具有MEMS流片经验的高端技术人才。

目前，国内MEMS代工厂主要有华润上华、中芯国际、上海先进等，工艺开发是目前代工厂面临的主要问题之一。单从硬件来看，海外成功的代工厂在设备上与国内代工厂不相上下。以APM为例， APM的MEMS代工全球排名前十，基础设备为二手6英寸0.25um制程CMOS产线，后补充增加高深宽比反应离子刻蚀机，与国内动辄8英寸产线相比，大部分设备并不算非常先进。但海外代工厂的工艺开发能力远优于国内代工厂。以台积电为例，工艺开发业务员约3000人，其中MEMS工艺开发占10%，初步形成了基于特定产品的标准工艺。海外代工厂的开发速度较快，一般半年时间能形成稳定产能、较高良率，而国内代工厂通常则需要3-5年的时间。

尽管代工厂的MEMS业务尚未风生水起，但由于看好中国MEMS产业的发展前景，大量资本涌入MEMS产业。目前来看，国内MEMS产线投资旺盛，一批项目正在建设，同时另有一批项目正在策划、评审。正在建设的项目绝大多数定位为IDM+代工的模式，如洛阳力盛芯8英寸光MEMS产线、辽宁抚顺罕王集团8英寸产线、中电13所6英寸产线，另外还有淄博4英寸中试线、蚌埠6英寸中试线以及苏州工业园的6英寸代工线等。到2015年，MEMS产线将陆续建成，形成近85万片的年产能，但仅从目前国内MEMS订单来看，远远不能满足这些产线的需要。2013年中国大陆生产MEMS晶圆3.6万片，其中45.9%为6英寸晶圆，主要用于科研、中试、中低端产品生产，45.9%为8英寸晶圆，主要用于中试、中高端产品生产。

仅仅依靠扩大产能并不能实现中国MEMS产业的跨越式发展，技术是中国MEMS产业链的短板。国内设计业产品技术不够成熟，特色不够鲜明，市场认可度不高，不能为代工厂提供足够的订单;而代工厂对特定产品也缺乏足够的技术储备，量产阶段的设计公司往往更愿意跟海外的代工厂合作，比如台积电、X-Fab、Filex等，以期望得到足够的良率和稳定的产品。

投资MEMS不易操之过急。MEMS技术的成熟需要长期的投入和积累，融入到特色工艺开发的综合业务中去，最大效率地发挥设备潜力，提高产线的生存能力。可以参照代工厂的模式，放开特色工艺的品种，除了MEMS之外，发展功率器件、图像传感器等多元化代工业务，根据市场需求及时调整产能配比，从而不会因为MEMS订单不足而闲置机台，造成大量浪费。

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