“公斤”新标准恐拉低半导体制程良率

 IC半导体业大震撼!国际通用百年的“公斤”定义明年将改变，但隶属中国台湾经济部的度量衡标准实验室却传出目前仍筹不到经费无法跟进，公斤量测校正标准将降为二级。如此将冲击讲求精准度的“纳米”晶圆制程校正，台湾引以为傲的IC半导体产业良率恐将大幅拉低。

台湾量测标准降为二级

台湾经济部标检局昨日举办“国际计量趋势研讨会”，邀请国际度量衡委员会主席Dr. Barry Inglis等美日德专家，探讨计量在产业创新中的运用与贡献。国际度量衡委员会并与我国分享明年初将上路的四项国际单位制定义新改变，包括“公斤”(质量)、“克耳文”(温度)、安培(电流)、莫耳(物理量)。

标检局官员指出，这四项中最重要的是“公斤”定义改变。过去准确衡量1公斤，靠的是质量1公斤的“铂铱公斤原器”，台湾1995年引进放在新竹工研院的国家度量衡研究室。但这个公斤原器过去100年却飘移50微克，相当一颗直径0.4毫米的小沙粒，准确度产生偏差，因此国际度量衡大会明年将公布，改以物理性的“普朗克常数”去定义。

生产设备校正受影响

国际单位制度改变，台湾当然也得跟进，不过因为提升实验室相关检测设备要花6亿台币，经济部标检局面临“无钱可编”的窘境，将无法在明年跟上国际脚步。不过如此却暗藏产业的大冲击，尤其制程是以“纳米”(10亿分之一公尺)计算的IC半导体产业。

在半导体制程中，晶圆表面的清洗、蚀刻与研磨皆要仰赖特定化学溶液，标检局官员指出，这些化学溶液量测如果有一点点误差，都会影响良率。未来一旦台湾跟不上国际最新脚步，国家度量衡实验室的“铂铱公斤原器”将被降为二级标准，产业生产机器设备校正会受影响。因国际标准拉高，相对台湾半导体良率会被拉低。

以先进的台积电与联电晶圆制程来说，良率均高达9成5，新标准改变将被拉低多少良率?台湾标检局官员分析，这将视不同产线与产品而定，但公斤新标准会比旧的精准2到4倍，将有一定程度影响。该局也只能极力争取预算，目前仍无着落。