爱德万测试电子束微影系统获产学界肯定

F7000系列利用电子束技术将精细接脚间距图样直接写入基板，可为目前半导体研发所关注的1X奈米(nm)制程提供业界理想的测试产能。此套系统同时自动清洗功能与调整器功能，前者可确保设备长期稳定运作效能，后者则支援不同尺寸、形状、材料的基板测试。

目前这三家F7000系列客户除将此系统应用于半导体晶圆和其他类型与尺寸的基板研究范畴外，还将运用于微机电系统(MEMS)/非机电系统(NEMS)、生物晶片、创新元件、电子零组件等领域的技术开发。这三笔订单意义深远，堪称爱德万测试跨入新市场，运用先进电子束微制造技术开创下一代电子元件研究发展的策略性成长里程碑。

爱德万测试亦深耕奈米和太赫兹(Terahertz)技术之发展，积极开发新兴市场，近日更推出攸关光罩制造的多视角量测扫描式电子显微镜，以及突破现有技术限制的三维(3D)成像暨分析工具。

爱德万测试网址：www.advantest.com