SCI在中国大陆售出首台FilmTek薄膜特性测量仪

SCI(Scientific Computing International)公司生产的FilmTek薄膜特性测量仪器首次成功地实现了在中国大陆的销售。继向中国大陆售出多套模拟软件FilmWizard之后，总部位于美国加州的SCI(Scientific Computing International)公司近日首次获得来自中国大陆客户的FilmTek2000PAR型膜厚测量仪订单。该仪器通过光学方法测量反射光获得薄膜的相关信息，如功率谱密度，Rs 及Rp等，与SCI研发的软件拟合出电介质函数，最后进行优化算法。该仪器采用240nm-860nm波段范围的光源，进行非接触测量，通过FilmTek2000PAR软件数据拟合，可同步获得0度入射的反射率，薄膜厚度, N值,K值,能带隙,组份,结晶度,表面粗糙度等参数。据透露，该公司FilmTek系列 (FilmTek 1000,2000,3000,4000) 仪器还可广泛适用于测量半导体 （包括 300mm 硅片）， LCD， OLED和电介质材料, 镀膜玻璃, 光学抗反薄膜, 多层光学薄膜，电光材料，激光腔镜, 金属薄膜, 光盘等。