InGaAs线列探测器对航空航天领域影响深远
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近日,中科院长春光学精密机械与物理研究所宋航研究员主持的重点项目“室温工作的高In组分短波InGaAs线列探测器材料与器件研究” 通过项目结题验收。专家组由来自我国材料科学界知名专家组成,基金委领导和工程与材料科学部领导参加了重点项目结题验收会,这些专家由国家自然科学基金委员会工程与材料科学部组织。
本项目历时四年的努力,主要针对高In组分InGaAs红外探测器结构材料的MOCVD生长、晶格失配缺陷的抑制、红外探测器材料与器件工艺的优化、探测器线列焦平面的研制与集成等方面开展了深入系统的研究。提出两步生长法并引入热退火过程抑制大晶格失配InGaAs材料的制备方法;成功获得大尺寸、高质量InGaAs红外探测器结构材料;成功获得了256×1的延长波长InGaAs线列焦平面探测器。四年中,项目组在国内外学术期刊和学术会议上发表论文50篇,申请发明专利5项,授权发明专利2项。高In组分InGaAs红外光电探测器在国民经济建设和航空航天领域具有重要应用。该项目的验收成功对我国航空航天领域发展具有深远影响和意义。
(结题验收会现场)