我国研制超精抛光装备，突破高精度光学零件制造加工技术

制造加工业的发展，已经朝着超精密方面迈进，但是我国在该领域还显得有些薄弱。尤其是在光学仪器零件加工领域，我国与国外差距较大，限制了我国先进制造技术的发展。近日，国防科大自主研制的磁流变、离子束两种超精抛光装备通过了国家重大科技专项验收，并将为其他国家重大科技专项创新提供支撑。

该设备将光学零件加工的“中国精度”提升到了新的高度，实现了小于1纳米的误差，也就是亚纳米精度加工技术。基于可控柔体制造的第三代光学加工方法，对磁流变和离子束抛光机床进行自主研制，并实现亚纳米精度，是我国光学自动化加工技术的一大飞跃与突破，突破了国外在该技术领域对中国的封锁，使我国成为第三个掌握高精度光学零件制造加工技术的国家。

该设备的研制成功，还将为“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”“高分辨率对地观测系统”等3个国家重大科技专项，提供技术支撑，推动这些重大科技专项的研发进程与技术突破进程。