扫描、透射电镜、能谱仪等电子显微学发展探讨

近日，“2012年度北京市电子显微学年会”成功召开，共有200多位专家与会，共同就北京电子显微学的学术及技术水平，以及在材料科学、生命科学等领域的应用、发展和交流等进行交流探讨。

此次会议由北京市电镜学会、北京理化分析测试技术学会主办，会议探讨内容涉及扫描电镜、透射电镜、能谱仪等仪器技术的进展与应用。

随着生命科学的发展，基于扫描电镜技术的自动化数据采集三维重构技术应用也越来越广泛。会议中对ATLUM+SEM、Diamond-knife/SBFSEM、FIB/SBFSEM这三种技术进行了探讨，其扫描电镜背散射电子成像、自动化程度高等特点得到了认同。

会上还对扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM)的原理和应用情况进行了介绍，作为一种推动纳米科技发展的重要工具，扫描隧道显微镜近年来也取得了诸多发展，并能够获得纳米级分辨率的表面结构信息。

镀膜是重要的电镜样品制备技术，通过镀膜可以降低电子束对样品的损伤，获得更浅表层的信息，提高SE和BSE对样品的损伤。新型的镀膜仪能够很好的控制真空度、靶材、膜厚度等因素，将镀膜效果发挥到最大。

能谱仪能在不影响扫描电镜分辨率的前提下，用于材料表面微区区域(几个微米)的成分分析，精确度高，分析速度快，操作简单。在用户在选购扫描电镜时必不可少的功能附件。透视微焦断层扫描是一种非破坏性的试验技术，通过X射线穿透样本，对样本进行不同角度成像，由软件将各个角度的图像进行重构，还原成微米甚至纳米级精度的、可分析的3D图像，从而实现对样本内部微结构的分析。

此外会上还对电镜技术在服装研究中应用现状及其展望、超高分辨扫描电镜的最新进展、离子减薄技术与设备发展状况、国产扫描电镜的研究现状与未来发展思路等进行了深入的探讨。