MEMS压力传感器在军用与航空领域表现优异

MEMS主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和相应的处理电路等几部分，它是在融合多种微细加工技术，并应用现代信息技术的最新成果的基础上发展起来的高科技前沿学科。

MEMS产品早在1980年就已经存在了，近年来，使用MEMS技术的半导体产品的需求及用途大幅增加。据IHS iSuppli公司的MEMS市场简报，在高价值的军用与航空领域，MEMS压力传感器市场今年将以两位数的速度强劲增长，而且将来在多个利润丰厚的应用领域有充足的扩张空间。

今年军用与民用航空领域的压力传感器营业收入将达到3570万美元，比去年的2970万美元增长20%。虽然来自这两个领域的MEMS压力传感器营业收入相对较小，而且不能与汽车或消费领域的MEMS营业收入相提并论，但未来几年可以保证稳步增长，尤其是因为鲜有其它器件可以承受其极端的工作环境。

在军用方面，远程空中与海上力量继续受重视，无人机、监视与侦察或智能武器也是发展重点，这将促进武器中电子内容的提升。美国政府的军队小型化与智能化计划，将来会涉及到规模的削减，但只有部队与人员会受到影响，而武器系统则不会受到影响。

而在民用航空方面，由于欧洲EADS的空客A320及美国波音787梦想宽体客机的强劲需求，去年开始的复苏仍在持续进行。EADS与波音都收到了超过2000架的大飞机订单，帮助今年商业航空增长24%。

总体来看，MEMS压力传感器必须能承受恶劣环境下的剧烈震动、高G过载影响与加速度、极端温度与高压。军用与航空应用通常是这类极端环境。另外，传感器还必须在这种困难环境下表现出完美的性能，具有高精度、低漂移和长期稳定性。必须在非常小的封装内满足这些苛刻要求，而且重量要轻。从这些方面来看，MEMS压力传感器能够主宰军用与航空领域。