MEMS压力传感器芯片（敏芯微电子）

继推出硅基MEMS麦克风芯片后，苏州敏芯微电子技术有限公司日前又推出了1.4mm×1.4mm×0.7mm外形尺寸MEMS绝对压力传感器芯片，主要针对量程为15PSI的高度表市场，并已开始提供样品。

据敏芯微电子介绍，其MEMS压力传感器芯片典型满量程输出范围为100kPa，在加载电压5V的情况下，满量程灵敏度为100mV，桥臂电阻典型值为5k欧姆，零位输出在+-30mV之间，灵敏度温度系数为-19%FS/100度。敏芯微电子称，其在国内率先独家推出的MEMS绝对压力传感器芯片，可同时兼容开环和闭环桥臂两种应用，极大方便了客户使用。

目前，敏芯微电子可以芯片或晶圆的形式向客户供货，初期将供应基于4寸晶圆的芯片，外形尺寸为1.4mm×1.4mm×0.7mm之版本。今后，为满足部分客户对芯片超薄尺寸的要求，也将提供芯片外形尺寸为1.4mm×1.4mm×0.5mm之版本。

敏芯微电子还将陆续推出其它量程的产品来满足不同客户之需求，预计将于2010年初提供满量程范围为100PSI及300PSI之产品，此系列之产品将进一步缩小芯片体积，设计外形尺寸为1.1mm*1.1mm*0.7mm。同时，公司也可根据客户需求来定制MEMS压力传感器芯片，来满足某些特种需求。