凸版印刷试制出低温状态涂布型薄膜晶体管

凸版印刷采用透明非结晶氧化物半导体，试制出了将制造工艺控制在低温状态的涂布型薄膜晶体管“Thin Film Transistor（TFT）”，并成功地驱动了电泳方式的可弯曲显示器（E-ink电子纸）。

该显示器通过印刷法涂布氧化物半导体层，其他层采用与普通TFT相同的制造工艺形成。凸版印刷与德国材料厂商赢创工业（Evonik Industries AG）共同改进了透明非结晶氧化物半导体材料，并将TFT制造工艺中的最高温度降至比原来低100℃之多的较低温度（270℃）。由此，可以将TFT的基材由玻璃改为具有柔软性的树脂（耐热薄膜）来实现柔性显示器。另外，通过在制造工艺中使用涂布方式，与原来的真空成膜法相比在简化生产设备、提高生产效率等降低制造成本方面已有眉目。

显示器相关专业调查公司韩国Displaybank表示，由于以美国为首的电子书阅读器的普及，预计电子纸市场将在2017年达到接近6000亿日元的规模。电子纸要求具有轻量性和柔软性，此次新开发的产品可在塑料基材上制造TFT，容易满足这些要求。氧化物半导体的使用自2004年11月东京工业大学教授细野秀雄领导的研究小组开发出α- InGaZnO TFT以来备受关注，由于拥有高迁移率、稳定性、低工艺温度、可大面积均匀成膜以及可形成透明涂布等原来硅类半导体和有机半导体所没有的特性，许多企业都在积极进行研发和试制工作。

试制的显示器的参数如下，尺寸为对角2英寸（像素数为80×60），TFT基材为玻璃。半导体材料为透明非结晶氧化物半导体。特性方面，TFT迁移率超过0.5cm2/Vs，ON/OFF比超过105（与普通的非晶硅TFT相同）。 （编辑：小舟）