新型 P-6 表面轮廓仪系统（KLA-Tencor）

KLA-Tencor 公司发布其最新的探针式表面轮廓测量系统 P-6，该系统针对科学研究与生产环境（例如，光电太阳能电池制造）提供一组独特的先进功能组合。P-6 系统受益于在先进半导体轮廓仪系统上开发的测量技术，但却采用了较小与较经济的桌面型机台设计，可接受最大至 150 毫米的样本。

融合 KLA-Tencor 的自动化 P-16+ 探针式轮廓仪的众多功能，P-6 探针式轮廓仪充分承袭了最佳技术与效能的传统： 

•    低噪声基底可改善表征微小表面特征的测量灵敏度
•    小于 6 埃的步进高度可重复性，确保了严苛的制程控制
•    150 毫米 X-Y 样本载台可实现覆盖整个基底的单一测量
•    2D 应力测量与分析可将缺陷降至最低并提升良率
•    功能强大且容易使用的分析软件，提供高阶应用的灵活性

P-6 轮廓仪已通过主要太阳能产品制造商 BP Solar 的合格认证。

P-6 系统将于 2008 年 7 月 15 至 17 日在旧金山举办的 InterSolar 北美展会第 9252 号 KLA-Tencor 展台上展出。