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白光干涉仪可实现亚微米精度3D检测
白光干涉仪可应用于半导体、摄像头、线路板、显示面板等行业。在3D检测领域，白光干涉仪是精度最高的测量仪器之一。在同等系统放大倍率下，其检测精度和重复精度都高于传统的检测方法。甚至在一些纳米级和亚纳米级的超精密加工领域，只有白光干涉仪能够达到检测的精度要求。
白光干涉仪可应用于半导体、摄像头、线路板、显示面板等行业。在3D检测领域，白光干涉仪是精度最高的测量仪器之一。在同等系统放大倍率下，其检测精度和重复精度都高于传统的检测方法。甚至在一些纳米级和亚纳米级的超精密加工领域，只有白光干涉仪能够达到检测的精度要求。
