光栅读数头

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  • 计量光栅读数头的形式

      现按光栅读数头的光路布局特点重点介绍直读式和相位式两种光栅读数头。   直读式光栅读数头是指利用垂直照明光束获得莫尔条纹信号的读数头,也称为垂直入射式光栅读数头。图中为两种典型的光路布