准分子光刻

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两大光刻技术

准分子光刻技术作为当前主流的光刻技术，主要包括：特征尺寸为0.1μm的248　nm　KrF准分子激光技术。

基础知识科普站
2021-12-09

准分子光刻电子束光刻激光