梁德丰,钱省三,梁静(上海理工大学工业工程研究所/微电子发展中心,上海 200093)摘要:由于半导体制造工艺过程的复杂性,一般很难建立其制造模型,不能对工艺过程状态有效地监控,所以迫切需要先进的半导体过程控
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