图案成型

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KLA-Tencor公司针对7纳米以下的IC制造推出五款图案成型控制系统

KLA-Tencor公司今天针对7纳米以下的逻辑和尖端内存设计节点推出了五款图案成型控制系统，以帮助芯片制造商实现多重曝光技术和EUV光刻所需的严格工艺宽容度。

电子设计自动化
2017-09-14

ic制造 kla-tencor 图案成型